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儀表網 行業標準】根據國家市場監督管理總局下達的國家計量技術規范制修訂計劃,全國幾何量長度計量技術委員會已完成《自準直儀檢定規程》《掃描探針
顯微鏡校準規范》的征求意見稿。為使國家計量技術規范能廣泛適用和更具可操作性,現向全國有關單位及專家公開征求意見和建議。意見反饋郵箱:mtc2@nim.ac.cn。
《自準直儀檢定規程》
自準直儀是一種用于小角度測量的精密計量儀器。它與多齒分度臺配合使用,可用于測量正多面棱體、角度塊等角度量具。與正多面棱體配合可以用于測量多齒分度臺、轉臺等圓分度儀器。與平面反射鏡配合使用,可用于測量直線度、平面度、平行度、垂直度、楔角以及其他相對位置關系的測量要素。是角度計量中的重要儀器。按自準直儀瞄準方式不同可分為光學自準直儀和光電自準直儀,光電自準直儀按其讀數的方式不同又可分成指針式和數顯式。
JJF 1002《國家計量檢定規程編寫規則》、JJF 1001《通用計量術語及定義》、JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》、JJF 1094—2002《測量儀器特性評定》共同構成支撐規程制修訂工作的基礎性系列規范。與 JJG 202-2007 相比,除了編輯性修改之外,本規程主要技術變化如下:
——增加 0 級自準直儀。
——刪除光電瞄準時靈敏度調節引起的指示表指零變化的計量性能要求,并刪除相應檢定方法。
——刪除自準直光束的平行度對示值的影響的計量性能要求,并刪除相應檢定方法。
——刪除光電自準直儀鑒別域的計量性能要求,并刪除相應檢定方法。
——增加光電自準直儀的示值跳動的計量性能要求。
——修改示值誤差要求、描述和檢定方法。
——刪除計量器具中的光學角規。
——刪除計量器具中的檢驗平尺。
——刪除計量器具中的專用光闌。
——修改檢定項目表。
——刪除附錄光電自準直儀用光學角規檢定方法。
依據JJF 1002《國家計量檢定規程編寫規則》,本規范在架構上包括:范圍;引用文件;概述;計量性能要求;通用技術要求;計量器具控制以及附錄等內容。
本規程適用于光電自準直儀、光學自準直儀的首次檢定、后續檢定和使用中檢查。其他類型的自準直儀亦可參考本規程。
《掃描探針顯微鏡校準規范》
掃描探針顯微鏡具有高分辨力、實時、原位成像等特征。對樣品無特殊要求,不受樣品的干燥度、形狀、硬度、純度等限制,可在大氣、常溫環境甚至是溶液中成像。廣泛應用于納米科技、材料科學、物理、化學和生命科學等領域。
JJF 1071—2010《國家計量校準規范編寫規則》、JJF 1001—2011《通用計量術語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構成支撐本校準規范制定的基礎性系列規范。
制定本規范的目的主要是解決工業中掃描探針顯微鏡校準問題。規范編制中參考了國際上納米計量領域的一些研究理論性研究成果,并以實際納米計量工作中的一些實驗數據為基礎制定了本規范。
依據JJF 1002《國家計量檢定規程編寫規則》,本規范在架構上包括:范圍;引用文件;術語和計量單位;概述;計量特性;校準條件;校準項目和校準方法;校準結果表達;復校時間間隔以及附錄等內容。
本規范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準。掃描探針顯微鏡根據其設計原理不同,校準時需要根據實際情況選擇相關的計量特性。對有特殊要求的測量任務,如對溯源要求較高的測量,不在本校準規范的適用范圍。